工业CT(industrial computerized tomography)是指应用于
工业中的核成像技术。其基本
原理是依据
辐射在被
检测物体中的减弱和吸收
特性。同
物质对辐射的吸收本领与物质
性质有关。所以,利用
放射性核素或其他
辐射源发射出的、具有一定
能量和
强度的
X射线或
γ射线,在被检测物体中的
衰减规律及
分布情况,就有可能由
探测器陈列获得
物体内部的详细
信息,最后用
计算机信息处理和
图像重建技术,以图像
形式显示出来。
工业CT是在射线检测的基础上发展起来的,其基本原理是当经过准直且能量I0的射线束穿过被检物时,根据各个透射方向上各体积元的衰减系数从不同,探测器接收到的透射能量I也不同。按照一定的图像重建算法,即可获得被检工件截面一薄层无影像重叠的断层扫描图像(图1),重复上述过程又可获得一个新的断层图像,当测得足够多的二维断层图像就可重建出三维图像。当单能射线束穿过非均匀物质后,其衰减遵从比尔定律: 即
式中 、 为已知量,未知量为μ。一幅M×N个像素组成的图像,必须有M×N个独立的方程才能解出衰减系数矩阵内每一点的μ值。当射线从各个方向透射被检物体,通过扫描探测器可得到MXN个射线计数和值,按照一定的图像重建算法,即可重建出MXN个μ值组成的二维CT灰度图像。
扫描模式:常用的
CT扫描模式有II代
扫描、III代扫描。III代扫描具有更高的
效率,但是容易由于
校正方法不佳而导致环状
伪影(所以减弱或
消除环状伪影是体现
CT系统
制造商技术
水平的主要
内容之一);II代扫描
效率大约是III代扫描的1/10—1/5,但其对大回转直径
工件检测有益。此外CT系统通常会具备
数字射线检测
成像(DR)
功能。
空间分辨率与密度分辨率的关系。在
辐射剂量一定的情况下,
空间分辨率与
密度分辨率是相互
矛盾的两个指标。提高空间分辨率会降低密度分辨率,反之亦然。
对于普通的
工业CT系统,其核心性能指标只有空间分辨率和密度分辨率;而对于一台
高精度测量工业CT系统而言,除了上述两个核心
性能指标外,还有另外两个核心性能
指标:
②
密度测量精度:在CT图像上测得某对象的密度值与该对象真实密度值之间的
相对误差。
射线源常用X射线机和直线加速器。X射线机的峰值能量范围从数十到450 keV,且射线能量和强度都是可调的;直线加速器的射线能量一般不可调,常用的峰值射线能量范围在1一16 MeV。其共同优点是切断电源以后就不再产生射线,焦点尺寸可做到微米量级。
目前常用的探测器主要有高分辨CMOS半导体芯片、平板探测器和闪烁探测器三种类型。半导体芯片具有最小的像素尺寸和最大的探测单元数,像素尺寸可小到10 μm左右。平板探测器通常用表面覆盖数百微米的闪烁晶体(如CsI)的非晶态硅或非晶态硒做成,像素尺寸约127 μm,其图像质量接近于胶片照相。闪烁探测器的优点是探测效率高,尤其在高能条件下,它可以达到16 ~ 20 bit的动态范围,且读出速度在微秒量级。其主要缺点是像素尺寸较大,其相邻间隔(节距)一般≥0. 1 mm。
样品扫描系统从本质上说是一个位置数据采集系统。工业CT常用的扫描方式是平移一旋转((TR)方式和只旋转(RO)方式两种。RO扫描方式射线利用效率较高,成像速度较快。但TR扫描方式的伪像水平远低于RO扫描方式,且可以根据样品大小方便地改变扫描参数(采样数据密度和扫描范围)。特别是检测大尺寸样品时其优越性更加明显,源探测器距离可以较小,以提高信号幅度等。