等离子体光谱是指从等离子体内部发出的从红外到
真空紫外波段的电磁辐射谱。
来源
它携带了大量有关等离子体复杂的原子过程的信息。利用
光谱学的原理和实验技术,并借助于等离子体的理论模型,测量分析等离子体光谱,对于等离子体的研究是有重要意义的。
包括
等离子体光谱主要是线状谱和连续谱。线状谱是等离子体中的
中性原子、离子等由其高
能级的
激发态跃迁到较低能级时所产生的,单个
粒子发射的
谱线强度主要决定于:①原子或离子的外层电子处于上能级的几率,②这种电子从上
能级跃迁到下能级的
跃迁几率,③光子在逸出等离子体之前被再吸收的几率。但
谱线的总强度与电子和离子的密度和温度有关,每条谱线有它自己的强度分布规律,因此从谱线强度的测量,结合理论模型和上述光谱中的原子数据,可以得到电子、离子的密度、温度等信息。根据
多普勒效应,从谱线波长的移动可确定等离子体的宏观运动速度。连续谱是电子在其他粒子的势场中被加速或减速而产生的。从
连续光谱强度的测量,也可得到
电子密度、温度等数据。
变化
随着
等离子体温度的升高,如到达10度以上,原子的外层电子逐渐被剥落,形成各种离子态的离子,如CⅣ、CⅤ、OⅥ、NⅤ、FeⅪⅩ、TiⅪⅩ(Ⅰ为中性原子,Ⅱ、Ⅲ、Ⅳ、…为失去 1、2、3、…个外层电子的离子)等。这些高次电离的离子,其线状谱大都处在远
紫外波段。连续谱的情形,也是随着温度的升高,其发射强度的极大值往短波方向移动。对于
高温等离子体,如聚变高温等离子体,其工作物质是氢及其同位素氘和氚,但不可避免地会含有一些杂质,如C、O、Fe、Ti、Mo、W等元素,温度已达10度以上,这些
杂质离子的光谱大部分是在
真空紫外及
X射线波段。分析这些较重杂质的高次电离
谱线的出现时间和位置,比较它们的强度,对这样高的温度的等离子体的参量测量、输运过程和等离子体的辐射损失等的研究都是很重要的。尤其是对类氢、类氦离子的
谱线强度的分析,更为有用,因为对于这些离子的原子数据较为完全。
形状
等离子体光谱的另一个重要方面,是
谱线的形状或轮廓。
光谱线并不是“线”,而是有一定宽度的轮廓。在等离子体光谱中,
谱线增宽的机制较复杂,其中有两个因素比较重要,就是
多普勒效应和
斯塔克效应。等离子体中的各种
粒子处于无规
热运动状态,它们相对于观察者具有各种方向和大小的速度,就会产生
多普勒频移,因此,所发射的光谱线不再是“线”,而是按波长的某种分布,即谱线“变宽”了,这就是
多普勒增宽。多普勒增宽同离子
速度分布有关,如这种离子的速度呈麦克斯韦分布,则与其离子温度有关。用多普勒增宽测量
高温等离子体中的离子温度是一种常用的方法,离子温度可用下式计算: ,
式中k为玻耳兹曼常数,Ti为离子温度,A为所测原子或离子的原子量,墹λ为
谱线轮廓在半高度处的宽度。计算时要扣除其他因素引起的增宽。
效应
另一个重要效应是
斯塔克效应。等离子体中的每个发光
粒子都处于其他粒子所带电荷产生的电场中,由于电场的作用,这个粒子所发射的光谱发生分裂,这就是斯塔克效应。分裂情况同等离子体中的
粒子密度有关。带电粒子产生的微观电场是复杂的,引起各式各样的
斯塔克分裂,叠加的结果,使
光谱线变宽,形成斯塔克增宽。在温度较低(几个
电子伏)、密度较高(大于10τm )的等离子体中,常用斯塔克增宽来测量
电子密度。 的斯塔克增宽理论较为完整,理论指出这类斯塔克增宽
谱线轮廓的半高全宽度与成正比,Ne为等离子体的电子密度。
聚变装置的
高温等离子体往往处于强磁场中,会引起
光谱线分裂,这就是
光谱学中熟知的
塞曼效应。在一些大型聚变装置中,
磁场强度为几个特斯拉(T),分裂正比于磁场强度B和波长λ的二次方的乘积,如λ=5000┱,B=1T时,则塞曼分裂=0.117┱。根据
谱线塞曼分裂的大小可推算等离子体中的磁场强度。
辐射
如上所述,测量等离子体的辐射,如
谱线强度、
谱线轮廓以及
谱线的分裂、位移等后,就可以得到等离子体的一些参量,如等离子体成分、温度、密度等。这方面的工作构成等离子体光谱诊断学,是
等离子体诊断学的一个重要组成部分。
相关知识
特点
光学系统:全新竖式光室设计,全封闭驱气型,采用精密温控恒温系统,高能量
中阶梯光栅石英棱镜
交叉色散内光路,波长和级次二维
色散,所有光学元件均使用
全反射球面镜,保证高光通量和低图象失真。
光栅: 采用超高分辨干涉刻制技术,52.91条/mm,63.5
闪耀角棱镜: 交叉色散,采用双通过设计确保成像质量,9.5角,超纯紫外熔融石英
波长覆盖: 166-847nm全波长覆盖,Al 167.120nm测试可获得更高紫外灵敏度,对于K 766.490nm和Na 818.326nm
长波同样性能优异
焦距: 383nm,紧凑型光室
分辨率
0.007nm在200nm处的
光学分辨率,采用大
衍射角高的光谱级次,在短焦距下可获得高分辨率
光路: 驱气型光室,可以是氩气或者氮气,驱气量0-2L/分钟,典型1L/分钟即可获得优异的紫外性能,特别对于As和P的测定。外光路设计,对于垂直炬可选择观测高度,对于双向炬可选择观测方式
波长校准: 采用C、N和Ar线自动波长校准程序,确保长期波长稳定性
光室恒温: 38±0.1℃精密光室恒温,恒温速度小于20分钟
检测器
新一代RACID86电荷注入式检测器(CID)是高性能的固体成像系统。热电的CID是能够传输高反差/低噪音图象的加强型电荷传输器件,它可以对分析范围内的所有波长进行定性定量,而决无电荷溢出(Blooming)现象。
检测器模式: 随机读取积分(RAI)
经选择的分析波长以最佳
信噪比的方式同时积分,这样光所产生的
电荷量可以保持在CID的线性范围内。它是利用了CID所独有的非破坏性读取(NDRO) 功能而获得的。NDRO 允许观测任意曝光点的任何
像数单元上的信号。在这种方式下,像数与像数之间的读出频率随着发射强度的实时观测而各不相同,因而得到最宽的
动态范围线性。
阵列尺寸: 291,600个独立寻址检测单元,540×540阵列连续覆盖所有可用波长
像数尺寸: 27×27um
量子化效率: 200nm紫外区可达65%以上
石英窗: 前置成角度封闭式石英窗,提高CID可靠性并降低
杂散光检测器冷却: 高效三级
半导体制冷,制冷温度-45℃,冷却时间小于3分钟,气体和冷却水安全连锁
等离子体观测:
观测方式
垂直观测: 等离子体使用高效
氟化镁涂层镜子以垂直模式直接观测。入射光经封闭驱气的外光路,防腐蚀并可获得最佳的紫外区光谱性能。观测高度可以由软件自动最佳化,也可由操作者进行选择。
双向观测: 等离子体可以水平观察以适应于最低检出限的应用要求,通过附加的垂直观测方式减少
基体效应。两种观察方式可以由计算机
全自动控制。观察方式的选择可以是全垂直、全水平或根据谱线灵活选择。
自动准直水平观测中心通道。
独特的SiN锥接口技术有效去除尾焰,并且保持良好的紫外性能。
等离子体源:固态RF发生器
频率: 27.12MHz
操作模式: 全自动软件控制点火与操作,直接
耦合变频阻抗控制自动调谐。
功率稳定性优于0.1%
功率输出: 750-1700W(确认值1500),计算机控制连续可调
输出效率: 大于78%,适用于包括甲醇等有机样品在内的各种样品分析
SeaSpray高盐雾化器、
V型槽雾化器、耐HF酸雾化器和
超声雾化器可选配
雾化室: 玻璃漩流雾化室,配置垂直和水平不同的连接管
蠕动泵: 高精度12滚轮3通道蠕动泵,0-125转/分钟连续可调。当等离子体熄火时处于Standby状态防止泵管损坏。
炬管
: 配置1.5mm垂直或2.0mm水平中心管的可拆卸式石英炬管。可选配1.0,1.5,2.0mm石英中心管和2.0mm耐HF酸
刚玉中心管。预准直卡式
炬管设计,方便快速更换,无需拆卸冷却气和辅助气气管。
气体控制:
雾化器气体,冷却气和辅助气三路独立气体控制
雾化器气体: 采用MFC质子流量计控制,连续可调。
冷却气: 12L/分钟
辅助气: 0,0.5,1.0,1.5L/分钟可调
操作系统:Microsoft WindowsTM 2000或XP
iTEVA软件:iCAP6000系列的iTEVA操作软件提供对仪器所有功能全控制,包括等离子体点火,气体流量,观测方式和安全连锁的监控。
日常分析软件: 在任何像数位置或指定的子阵列区域中进行定量分析
缺省的系统参数设置和全过程程序的执行
对于垂直观测,用户可选等离子体观测区域或全自动最佳化
分析过程中子阵列数据采集,用于条件优化后的数据后处理
全谱“指纹”摄谱研究模式:
拍摄整个
发射光谱或部分谱图,以彩色或
灰度显示发射强度,2D线性或
对数(强度与波长)显示
全谱线或峰值识别,全互动式谱线库,评价潜在的
谱线干扰,进行元素
定性分析同一材料的全谱图比对和基体或空白的减扣模式
自动进样器模式:全兼容自动进样器使得无人操作和关机。基于HTML样品文件,灵活控制定制样品放置位置。
质量控制检查: 针对于
QC表,自动检查QC样确保整个测试过程的重复性和准确度
校正模式: 多点校正曲线,每条校正曲线的标准点不受无限制
可选拟合类型:线性,曲线, 全拟合,
报告软件: 标准报告格式,用户可根据样品名称、方法名称、日期、时间、元素、浓度、强度、平均值、标准偏差、
相对标准偏差等来过滤报告输出。使用第三方软件定制报告生成,兼容
SQL服务器,DDE-格式数据库等无限制数据库功能
可选格式:分析数据可以复制到商用用户数据管理器,如
电子表格,Word文字处理,图形程序等。
兼容附件:iCAP 6300可以兼容包括标准进样系统、有机和挥发性有机
进样系统、高盐进样系统和耐HF酸进样系统在内的所有进样附件包。另外兼容:
自动进样器: Cetac ASX260、ASX520、EXR-8智能化自动进样器
超声雾化器: Cetac U5000AT+,对于水样的灵敏度可提高10-15倍
氢化物发生器:在线-
氢化物组件分样品、
硼氢化钠和废液独立通道,可 使As、Sb、Bi、Hg、Sn和Te的灵敏度提高8-10倍