沂州府地处山东省东南沿海，附郭兰山，领莒州（散州，含今莒县大部及五莲部分）、兰山县（治所，含今临沂市区大部以及兰陵、临沭部分）、郯城县（含今兰陵、临沭部分）、费县（含今平邑、临沂西部）、沂水县（含今沂源大部、沂南中东部）、蒙阴县（含莱芜、沂源部分）、日照县（含今五莲部分）。

地处山东省东南部，西接兖州府，北依青州府，南靠徐州府，东临黄海，治所在今临沂城。

领州1:莒州，县6:兰山县、郯城县、费县、沂水县、蒙阴县、日照县。

是时，今兰陵县分属临沂、郯城，今平邑属费县，今临沭分属临沂、郯城，今沂源县分属沂水、蒙阴，今沂南分属沂水、临沂，今莒南属莒县，五莲分属莒县、诸城、日照。

清初沿明制，沂州为兖州府属州，不设附郭县。辖郯城、费县。

1724年(雍正二年)，升为山东省直隶州。

1734年(雍正十二年)，升为沂州府，置附郭兰山县。同时，降莒州为散州，并以莒州及其原辖沂水、日照、蒙阴3县来属。共辖1州6县1卫，即：莒州、兰山(原为沂州直辖区域，1734年置县，为沂州府附郭县，治所在今临沂城)、郯城、费县、沂水、蒙阴、日照、安东卫。

沂州府设行政长官知府1人，为正印官，掌一府政令，官秩从四品。除知府外，沂州府尚设如下职官：

沂郯海赣通判1人(驻大兴)，为正六品，专管河务；

盐捕水利通判1人，为正六品，分管稽查盐务、水利等事务；

经历1人，为正八品，掌本府收发文书；

教授1人，为正七品，该职系学官，管理府学事务。

知府的办事机构称知府衙门，沂州府知府衙门由府堂和经历司等组成。府堂是知府衙门内一个综合性的办事机构，直接为知府服务，内置典吏若干人，按吏、户、礼、兵、刑、工六房办事；经历司是知府衙门内掌管出纳文移诸事的机构。

除上述知府衙门内的办事机构外，还设有下列所属机构：

一是阴阳学，设正科1人，品秩未入流，是府的阴阳官，兼辖星学。

二是医学，设正科1人，品秩未入流，是府属的医官。

三是僧纲司，设都纲1人，秩从九品；副都纲1人，品秩未入流，是府内管理僧人的官员。

四是道纪司，设都纪1人，秩从九品；副都纪1人，品秩未入流，是府内管理道士的官员。

以上机构各设典吏若干人，攒典1人。

各州、县设知州、知县执掌一州、一县之政。

注：王鸿陆所任为沂州府知事，民国2年裁府后任兰山县知事。

1913年1月8日，北洋政府公布《划一现行各省地方行政官厅组织令》、《划一现行各道地方行政官厅组织令》和《划一现行各县地方行政官厅组织令》废除了沂州府建制。其原辖各县除日照县划入胶东道外，其余6县均划入岱南道（1914年6月3日，岱南道改称为济宁道），各县行政长官一律改称为县知事。

1925年10月22日，山东督办兼省长张宗昌下令新建琅琊道，辖区即沂州府旧治全境，治所为临沂县。道尹驻临沂县。辖临沂、日照、郯城、莒县、沂水、费县、蒙阴等7县。道公署设道尹1人，内部机构设第一、二、三科，各科设科长1人，3个科共设科员10人。

1928年，琅琊道撤销。各县直隶于山东省。

1936年2月13日，置山东省第三区行政督察专员公署。