退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

热处理炉分为退火炉、淬火炉、回火炉、正火炉、调质炉，主要用于大型碳钢、合金钢零件的退火；表面淬火件回火；焊件消除应力退火、时效等热处理工艺。加热方式有电加热、燃油、燃气、燃煤、热风循环。退火炉是一种新型换热设备。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60%。

退火炉骨架由各种型钢焊接而成，外框用槽钢作主梁，围板采用冷薄板，台车用槽钢作主梁，底板及前后端板采用中板。

退火炉传动部分：台车传动采用电动机、减速机通过链条带动前端一组主动轮传动。炉门传动是采用蜗轮减速机和电动机组合电动升降。

密封：台车与炉体密封采用迷宫式结构，并在台车两侧有自动沙封刀密封装置。炉门密封采用滚道式压紧和弹簧压紧自动机构密封该炉炉体部分采用优质耐火砖结构，保证炉膛密封性。在台车耐压部分采用高铝砖砌筑，下部均添保温砖保温。

退火炉燃烧系统：在油炉两侧各安装数只烧咀，热流在炉内往复循环，确保炉温均匀性。根据需要可选定自动型和半自动型。

排烟预热装置：在炉后上端安装了排烟预热装置，炉内的烟气通过预热器时，由风机送入冷风进行预热，再由管路送至烧咀进行助燃，并在出口安装一只手动碟阀，该阀可调节炉内压力。广泛应用于化工、石油、食品、冶金、机械、轻工、电力、船舶、造纸、矿山、医药、集中供热等工业部门的加热、冷却、冷凝、蒸发等工艺过程中。

台车式退火炉

台车式退火炉是国家标准节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电30%。独家生产采用复合式高铝瓷钉组，台车防撞击密封砖，自动密封台车和炉门，一体化连轨，不需基础安装，放在水平地面即可使用。主要用于高铬、高锰钢铸件、球墨铸铁、轧辊、钢球、45钢、不锈钢等淬火、退火、时效以及各种机械零件热处理之用。

产品特点：

1、无噪声，无环境污染。

2、蓄热性小，热量流失少。

3、控温精度高，炉温均匀性强。

4、自动化程度高，操作简单。

5、可采用PID编程设定，全自动运行。

6、密封性好，寿命长，安全可靠。

广泛应用于化工、石油、食品、冶金、机械、轻工、电力、船舶、造纸、矿山、医药、集中供热等工业部门。随着社会生产力的发展，其在各行业中的应用越来越广泛。

井式退火炉

用途：供金属机件、环件等在额定的温度下进行热处理。

设备简介：

本炉是由炉体与一个可移动的炉盖及控制系统组成。

1、炉体外壳采用型钢及钢板焊接而成。

2、炉盖支撑采用型钢和导轨组合移动式。

3、加热元件采用北京首钢产的高电阻合金布置在炉侧。

4、炉底由于承重采用高铝砖砌筑，炉子中心采用大圈套小圈做法，里外加热。

5、炉盖采用液压升降，电机控制自动行走。

6、温控系统采用PID可控硅控制，精度高。

箱式退火炉

用途：主要用钢制工件的淬火、正火、退火等常规热处理之用的专用设备。

特点：

1、电炉装载量大、生产率高，特别适用于小、中型机件的热处理加热用，节能达30%，炉温均匀，智能数显表PID（如图《智能数显表PID》所示)自动控制炉温，精密高；

2、电炉装御料方便，操作条件好；

3、炉门与炉体的密封为自动密封，无需人工密封；

4、电炉设有连锁保护装置，可防止因误操作而发生的故障及事故。

罩式退火炉

罩式退火炉主要用于在自然气氛中进行薄板材退火以及钢件的正火处理。

1、特殊钢、精密合金、大型全纤维台车式电阻炉说明带材、线材的光亮退火。

2、特殊钢铸、锻件的退火。

3、硅钢片成品退火。

4、金属、非金属粉末压制作件的烧结等。

连续光亮退火炉

用途：用于不同规格铜直管（棒）、钢管、铝管或盘园在控制气氛下连续光亮退火。

特点：工件连续通过预热、加热、保温、缓冷、冷却，不受长度限制。传动采用托辊式同步传动，变频调速，平稳可靠。通保护气氛和强力的热气氛循环，温度均匀，内外表面十分光亮。冷却区设计独特，保证工件均匀冷却。处理的产品内外表面光亮，产品质量高，生产率高。

加热方式：电加热或燃气加热。

生产线组成：前辊道料台、前换气室、前预热区、加热炉、缓冷区、冷却区（含过渡区及强风冷区）、后换气室（含水冷区）后辊道料系统、计算机控制系统、电气控制系统、保护气氛装置。

罩式光亮退火炉

特点：

1、材料整个退火工艺过程都置于保护气氛中，经退火的工件表面光亮无氧化，材料表面不脱碳氧化。

2、由于炉内保护气由特制风机强对流循环，炉温均匀，使炉内温差控制在5℃以内；从而有效保证炉内所有退火材料软硬一致，便于材料深加工。

3、采用双炉座升温、冷却，准连续作业模式。炉体结构科学合理，节能效果明显，吨钢能耗低国内领先。单炉最大装容达90吨，生产效率高。

4、经该型炉处理的材料表面光亮，免除酸洗工艺，洁净工作环境，消除了酸污染。

5、整套设备全部微机控制，自动化程度高，能有效保证产品质量和设备安全运行。

适用范围：

1、黑色金属钢带、钢丝、钢管件中间和成品光亮退火。

2、有色金属铜带、铜丝、铜管、铜棒中间和成品光亮退火。

3、标准件、链条、机械零部件等散件光亮退火。

退火炉按热源分类主要有电热炉、燃煤退火炉、燃油退火炉、天然气退火炉、煤气退火炉等，其中以自备煤气发生炉所产煤气退火炉应用最广泛。煤气退火窑减去了燃烧室，直接利用煤气烧嘴在加热室喷射燃烧。为了降低能耗，煤气退火窑往往配有换热系统，将空气转换为助燃热风进行煤气的助燃。