羧酸(RCO2H)R中氢原子全被氟取代而成。其中最简单的化合物为三氟醋酸(CF3CO2H)。此外，也有C7-9的全氟烃基羧酸，可作含氟表面活性剂，或作为含氟疏水剂及疏油剂的中间体。

三氟醋酸以三氟甲基环已烯为原料经硝酸氧化制得。凝固点-15.36℃，沸点72.5℃，密度1.484g/ml（25℃），有近似醋酸味的无色液体。毒性LD50（兔）2000mg/kg(4h)。CF3基吸电子性强，显强酸性。和水于40.83℃共沸（水浓度20.6%），溶于绝大多数有机酸和无机酸。对蛋白质的溶解度为20～30mg/ml(25℃)，为透明液体。

主要用作酯化、缩合、贝克曼转位及烃类硝基化等催化剂。也用作溶剂、耐氧化性反应溶剂、防黏剂、医药及农药中间体。

其他全氟羧酸主要直链全氟羧酸的沸点比相应碳氢系羧酸沸点约低50℃。全氟醋酸是一种强酸，在水中可以完全解离。这种酸及其盐具有较高的界面活性。长链全氟羧酸主要用作四氟乙烯乳液聚合的乳化剂，也用作金属表面蚀刻改进剂以及用于从废气中脱除氧化氮。由相应的碳氢羧酸卤化物电解氟化，生成全氟羧酸氟化物，经水解而成；或者全氟烷基碘化物（RfCF2I）和SO3或CLSO3H反应生成物经水解而成；或由RfCF2CH=CH2氧化而成。