中国科学院上海微系统与信息技术研究所原名中国科学院上海冶金研究所，前身是成立于1928年的国立中央研究院工程研究所，是中国最早的工学研究机构之一。新中国成立后隶属中国科学院，曾命名中国科学院工学实验馆、中国科学院冶金陶瓷研究所。2001年8月，根据科研领域和科技发展目标的调整，更名为中国科学院上海微系统与信息技术研究所（简称上海微系统所）。

1928年6月9日，国立中央研究院工程研究所在上海成立，蔡元培任院长。

1928年6月，国立中央研究院理化事业研究所（含物理、化学、工程三组）在上海成立。

1928年7月，国立中央研究院工程研究所分开建所，首任所长周仁。

1930年初，物理、化学、工程三所共用的理工实验馆动工建造。

1938年，抗日战争爆发后，研究所内迁昆明。

1945年9月，研究所在昆明更名为国立中央研究院工学研究所。

1946年6月，抗日战争胜利后，研究所回迁上海，留下部分为昆明工作站。

新中国成立后隶属于中国科学院，1950年3月，曾命名为中国科学院工学实验馆。

1953年2月，更名为中国科学院冶金陶瓷研究所，周仁任所长。

1955年，筹建长沙分所。

1958年6月，长沙分所独立命名为中国科学院矿冶研究所（后更名为长沙矿冶研究院）。

1959年2月，以陶瓷部分为基础成立中国科学院硅酸盐化学与工学研究所（后更名为中国科学院上海硅酸盐研究所）。本所更名为中国科学院冶金研究所。

1959年5月，昆明工作站独立命名为：中国科学院昆明冶金陶瓷研究所（现昆明贵金属研究所）。

1968年3月，被解放军十六院接管；5月，被授予解放军一六零三研究所番号。

1970年10月，回归地方并更名为中国科学院上海冶金研究所。

1984年，甲种分离膜制造技术获国家发明一等奖。

1998年6月，国务院科教领导小组批准中国科学院进入知识创新工程试点，上海微系统所作为上海高技术研究发展基地五个成员之一，被列入首批启动单位。

2001年8月，根据研究所科研领域的变迁和科技发展战略目标的调整，经中国科学院和国家有关部门批准将所名更改为中国科学院上海微系统与信息技术研究所。

2003年10月，“创新一号”01星成功发射运行。

2008年9月，“神舟七号”伴随小卫星成功发射运行。

2008年12月，“创新一号”02星成功发射运行。

2010年3月，上海物联网中心成立。

2011年11月，“创新一号”03星成功发射运行。

根据2016年1月研究所官网显示，中国科学院上海微系统与信息技术研究所有在职职工780人，其中一线科技和管理人员685人，研究员及正高级工程技术人员89人，有中国科学院院士2人，美国国家科学院外籍院士1人，中国科学院“百人计划”入选者18人，国家杰出青年科学基金获得者4人，国家“百千万人才工程”入选者6人，上海市科技领军人才8人次。

中国科学院院士：邹世昌、王曦

根据2016年1月研究所官网显示，中国科学院上海微系统与信息技术研究所有8个研究室，6个分支机构（共建机构），研究所有国家重点实验室2个，中科院重点实验室2个。

国家重点实验室：传感技术联合国家重点实验室/微系统技术重点实验室、信息功能材料国家重点实验室

中科院重点实验室：中科院无线传感网与通信重点实验室、中科院太赫兹固态技术重点实验室

根据2016年1月研究所官网显示，中国科学院上海微系统与信息技术研究所参与欧洲第六框架计划、欧洲伽利略空间计划、中芬信息通信技术（ICT）战略联盟等国际合作计划，与德国于利希研究中心共建“中德超导与生物电子学联合实验室”、与荷兰IMC公司共建“SIMIT-IMEC物联网联合实验室”，在超导、生物电子、无线通信、物联网、医疗电子等领域开展了全方位的合作。

根据2016年1月研究所官网显示，中国科学院上海微系统与信息技术研究所举办了集成电路设计与产业所企对接会，和东南大学合作建立的中科院南京宽带无线移动通信研发中心成为江苏省产业研究院2015年度5家预备研究所之一，与中科大信息学院、中国电科49所等机构签署项目合作协议，与南通市政府合作成立中科院南通光电工程中心。

2014年，研究所与杭州临江新城签约共建 “中科院杭州汽车电子工程中心”，并成立产业化公司，与嘉兴市人民政府签约共建“中科院海宁纳米电子材料与器件工程中心”。

根据2016年1月研究所官网显示，中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统工艺平台坐落于上海市宜山路800号，于2003年建成 ，微系统工艺平台建有100级净化厂房70平方米，1000级净化厂房700平方米；微系统封装平台位于上海漕河泾高新技术开发区，拥有封装和测试设备，净化室总面积约800平方米，总资产超过4000万元；上海市集成光学技术研究中心位于上海市长宁路865号，中心包括两个组成部分：工艺加工平台和测试实验室。中心现有1000级净化厂房100平方米，10000级净化厂房250平方米。

根据2016年1月研究所官网显示，中国科学院上海微系统与信息技术研究所构建了多个科研研究平台，建有上海材料与制造大型仪器区域中心，中心现有大型仪器超过100台，总金额约6亿元。通过中科院仪器设备共享管理平台将100余台通用仪器设备实现了公用共享，主要仪器设备如下表所示：

根据2016年1月研究所官网显示，中国科学院上海微系统与信息技术研究所图书馆馆藏为：中文图书1万多册，西文图书1.4万多册，西文、日文、中文期刊共500多种，已开通了ISI Web of Knowledge, Elsevier, Springer等网络数据库，并与中国科学院国家科学数字图书馆、国家科技图书文献中心建立了全文传递服务。中西文图书和期刊均已实现全天候网络查询。

2023年5月，中国科学院上海微系统与信息技术研究所（简称中科院上海微系统所）成功开发柔性单晶硅太阳电池技术。

2023年5月，中国科学院上海微系统与信息技术研究所尤立星、张伟君等合作，通过发展低串扰相位参考信号控制、极低噪声单光子探测器等技术，实现了光纤中1002公里点对点远距离量子密钥分发，不仅创下了光纤无中继量子密钥分发距离的世界纪录，也提供了城际量子通信高速率主干链路的方案。

根据2016年1月研究所官网显示，自新中国成立以来，中国科学院上海微系统与信息技术研究所已获得国家级奖励50余项、部委省市级奖励330余项。

根据2016年1月研究所官网显示，中国科学院上海微系统与信息技术研究所新能源技术中心发表论文200余篇，申请专利40余项。

2013年，研究所在国内外刊物发表论文461篇，其中SCI（科学引文索引）收录144篇，EI（工程索引）收录159 篇，申请专利234项，授权专利154项。

2012年，研究所在国内外刊物发表论文395篇，其中SCI收录142篇，EI收录135篇，申请专利268项，授权专利139项。

根据2016年1月研究所官网显示，中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家联合重点实验室承担了本领域的2个973项目；在传感技术领域的国家自然科学基金项目中，实验室负责承担了4项重点项目和1项国家杰出青年基金项目等，并负责承担了多项863项目；中科院太赫固态技术重点实验室承担了973、863、国家杰出青年基金、国家自然科学基金项目重大、上海市基础研究重大与重点、中科院知识创新工程重大、重要方向性项目等科研项目50余项。

2013年，上海微系统所在研项目 / 课题375项（包括新增项目 / 课题72项）；其中，主持国家重大科技专项课题12项、 参加课题36项；主持国家重点基础研究发展计划（973计划） 项目5项、 参加课题14项；主持 （或承担） 国家自然科学基金重点项目3项、 面上项目23项、重大研究计划3项、 重点项目5项；主持 （或承担） 中国科学院战略性先导科技专项课题14项；主持 （或承担） 院重点部署项目7项； 主持 （或承担） 科技部、 国家自然科学基金委、 财政部和院重大仪器研制项目5项；承担重点国际合作项目5项；承担院地合作项目15项；承担国家科技支撑计划项目2项。

《功能材料与器件学报》于1995年创刊，是由中国材料研究学会和中国科学院上海微系统与信息技术研究所共同主办的全国性学术期刊。主要刊登反映功能材料与器件领域中具有创新性的科研成果和应用技术进展的论文、简报、综述和消息。期刊被中国科技论文统计源期刊（中国科技核心期刊）、《文摘杂志》、《化学文摘（网络版）》、文摘与引文数据库、《日本科学技术振兴机构中国文献数据库》、北大2004版核心期刊、北大2008版核心期刊、北大2011版核心期刊、维普期刊MARC数据、维普期刊DC数据收录，国家图书馆馆藏、上海图书馆馆藏。

根据2016年1月研究所官网显示，中国科学院上海微系统与信息技术研究所是国务院学位委员会批准的首批博士、硕士学位授予单位之一，中科院硕士、博士研究生重点培养基地之一，设2个一级学科博士/硕士培养点，1个二级学科博士/硕士培养点，有2个一级学科博士后流动站。

博士后流动站：电子科学与技术、材料科学与工程

一级学科博士/硕士培养点：电子科学与技术、信息与通信工程

二级学科博士/硕士培养点：材料物理与化学专业

中科院重点学科：微电子学与固体电子学

1998年，中国科学院上海微系统与信息技术研究所确立为中国科学院知识创新工程研究所后，确定了电子科学与技术、信息与通信工程两大学科领域和微小卫星、无线传感网络、未来移动通信、微系统技术、信息功能材料与器件五个学科方向。

根据2016年1月研究所官网显示，中国科学院上海微系统与信息技术研究所有在学研究生442人，其中硕士生267人、博士生175人，在站博士后16人。学生4次获得全国百篇优秀博士论文，5次获得中国科学院优秀博士论文，8位研究生获得中国科学院院长奖特别奖，33位研究生获得中国科学院院长奖优秀奖，另有60余人次获得中科院冠名奖和上海市奖励。

释义：从形状上看，所标是用四条弧线叠加构成的动感形态，象征着有序的结合、信息波的无限扩展，给人有无限的想象空间，突出体现了中国科学院上海微系统与信息技术研究所科研人员开拓进取、乐于探索、勇于创新、不断攀登科学高峰的理想追求。四条弧线表示作为中科院高技术研究所的科研人员，在社会主义和谐社会建设进程中，始终明确自己的定位、发展目标及应有的贡献。

从色彩上看，蓝色是指蔚蓝的天空和湛蓝的海洋，表示中国科学院上海微系统与信息技术研究所科研人员在科学的殿堂里上天搏击、下海遨游、乘风破浪、不断攀登高科技领域尖端科学的气魄。蓝色又表示平和、朴实，反映出中国科学院上海微系统与信息技术研究所科研人员脚踏实地、严谨务实的科学精神。

从整体上看，整个设计体现了中国科学院上海微系统与信息技术研究所建所来凝聚出的“团结、高效、严谨、创新”八字所风，四条弧线的紧紧叠加和开放式的伸展，表示作为微系统与信息技术研究所的职工在从事科研活动中，团结协作、继往开来、与时俱进的精神风貌。色彩由深变浅，体现出了科研人员力求变革、努力探索科学奥秘的不懈追求以及一步一个脚印、循序渐进、扎实的工作态度。

根据2016年1月研究所官网显示，中国科学院上海微系统与信息技术研究所举办了中医食疗的应用、科技创新与知识产权保护、学术评价体系浅谈的主题沙龙，每年举办冬季运动会、国学知识竞赛等活动。

2023年12月，中国科学院上海微系统与信息技术研究所“集成电路用300mm硅片关键技术研发与产业化”团队获得2023年度中国科学院科技促进发展奖。