普通玻璃是
绝缘材料,通过在其表面镀上一层
导电膜(
ITO膜),即可使其具备
导电性能。这就是导电玻璃。
氧化铟锡透明导电膜玻璃,多通过ITO导电膜玻璃生产线,在高度净化的厂房环境中,利用平面磁控技术,在超薄玻璃上
溅射氧化铟锡
导电薄膜镀层并经高温
退火处理得到的高技术产品。
导电玻璃,是一种电阻小、能导电的玻璃。导电玻璃分为体积导电玻璃和表面导电层玻璃两种。体积导电玻璃的成分中含有
碱性氧化物、氧化硅、钛的氧化物。表面导电层玻璃是在透明的玻璃表面上蒸镀一层金属薄膜(如金、铂等,厚度小于10毫微米),或在加热的玻璃表面上喷涂
金属氧化物导电薄膜(如锡、铟等)等制成。
导电玻璃具有较高的机械强度和防腐性能。可用作飞机的风挡玻璃,在等离子显示、硅太阳电池、调谐指示管等器件中可作玻璃电极,在金属电解槽、电热设备等方面而有广泛的用途。
透明导电膜玻璃具有较高的透光率,膜层对光的透过率可以达到90%,将其用作建筑玻璃可以满足采光的基本要求。由于其导电的特性,在应用开发中可以围绕这一功能开发出多种产品,潜在的应用方向还有很多。
透明导电膜可以采用多种方法制造,目前应用较广泛的是磁控真空溅射工艺方法,此外还有真空蒸发镀膜、
化学气相沉积、射频溅射镀膜等工艺方法。应用最多的导电膜系是
氧化铟锡膜层,通常称为ITO透明导电膜。
ITO膜是以锡和氧空位为施主的n型简并半导体,在常温下有很好的导电性,其本征吸收在紫外区,对可见光透过率影响不大。以前透明导电膜主要应用于
电子玻璃和军工目的,随着生产技术进步和成本降低,已开始逐步在建筑工程中使用。如图1所示采用透明导电玻璃制作的大面积太阳能电池屋顶,该建筑的全部能量消耗都来自屋顶,这一生态环境试验性建筑已成功运行了几年。
由于我国仍是TN、STN-LCD重要生产基地,IT0导电玻璃已发展成独立的行业门类。目前中国大陆有
ITO导电玻璃生产线约40条,主要的厂商包括
外商独资企业——苏州板硝子等,进口大型生产线企业——深圳南玻、深圳莱宝等,国产生产线企业——安徽蚌埠华益、深圳南亚、安徽芜湖长信、江苏金坛康达克、深圳豪威等。据不完全统计,我国2005年实际的产量已超过1000万㎡。不但已能基本上满足国内需求,出口比例也达到一定水平。与此同时技术水平、产品质量都有很大的提高。
随着智能手机、PDA、电子书等触摸式输入电子产品的悄然兴起,相应的镀膜导电材料也应运而生。由于触摸屏工作原理的特殊性,其所需的
ITO薄膜大多是在柔性材料上进行,薄膜的沉积温度不能太高(小于120℃),同时要求ITO膜层较薄、方块电阻高而且均匀。这就对ITO薄膜的设备和工艺都提出了更严格的要求。从而使我国ITO玻璃(薄膜)产业更上一层楼。