离子密度-脉冲真空放电离子密度的测量，由于采用脉冲放电沉积技术能够克服连续电弧离子镀沉积时产生的液滴及负偏压放电的缺点,特别是它在镀制类金刚石薄膜中显示出来的独特性能

离子密度-脉冲真空放电离子密度的测量，由于采用脉冲放电沉积技术能够克服连续电弧离子镀沉积时产生的液滴及负偏压放电的缺点,特别是它在镀制类金刚石薄膜中显示出来的独特性能。

通常，铜离子在水溶液中实际上是以水合离子的形式存在的，水合铜离子呈蓝色，所以我们常见的铜盐溶液大多呈蓝色。而在氯化铜的溶液中，不仅有水合铜离子，还有氯离子Cl-与铜离子结合形成的四氯合铜络离子，该离子的颜色为黄色。根据光学原理我们知道，蓝色和黄色的混合色为绿色，这就是为什么我们常见的一般浓度的氯化铜溶液呈绿色的原因。如果我们向氯化铜溶液中加水，则溶液中氯离子浓度变小，水合铜离子相对增多，溶液主要呈现水合铜离子的颜色（蓝色）。所以我们见到的氯化铜稀溶液一般呈蓝色。同样道理，在硝酸跟铜的反应中，稀硝酸与铜反应所得的溶液呈蓝色，而浓硝酸与铜反应所得溶液呈绿色。这是因为，浓硝酸与铜反应时，产生大量的二氧化氮气体，二氧化氮溶解在溶液中呈黄色，二氧化氮的黄色跟水合铜离子的蓝色混合就出现了我们看到的绿色。

由于采用脉冲放电沉积技术能够克服连续电弧离子镀沉积时产生的液滴及负偏压放电的缺点,特别是它在镀制类金刚石薄膜中显示出来的独特性能:不含氢和硬度高,使其在薄膜沉积技术中越来越受到广大研究者的重视.为了更深入地研究薄膜的沉积工艺和薄膜性能之间的关系,迫切需要对脉冲真空放电等离子体的微观参数进行深入透彻的研究,如离子密度及其空间分布等.本文介绍了测量脉冲真空电弧离子源离子密度的方法,并采用该方法测量了脉冲真空电弧离子源离子密度及其空间分布,分析和研究了影响离子空间分布的各种参数。