李星辉，1985年生于河南洛阳，现为清华大学深圳研究生院先进制造学部博士后。

本科2008年毕业于武汉大学，硕士2011年毕业于西安交通大学，硕士为西安交通大学和东京工业大学联合培养，博士2014年毕业于日本东北大学。

2014年11月以来，在清华大学深圳研究生院做博士后研究。2008年获得武汉大学优秀毕业生，2011年获得西安交通大学优秀研究生干部，2014年获得东北大学校长奖(President’s Award of Tohoku University 2014)，2015年10月在清华大学深圳研究生院的博士后中期考核中获得优秀。

针对高档数控机床、光刻机、锂电池极片生产、坐标测量机等精密加工和测量领域的精密定位需求，研究高精度、高速度光学测量原理，研究测量的误差及不确定度，开发新型光电测量系统。研究基于蓝光半导体激光器的干涉光刻工艺，研究复杂光栅的设计、加工技术。2013年研发了世界首个基于单测量点的六自由度光栅尺；2014年改进了“三光束-单次曝光”干涉光刻工艺，对高质量二维平面光栅加工提供了新的手段。

1. 日内瓦国际专利展银奖，2023年4月

2. 巴黎国际发明展银奖，2023年1月，

3. 广东省研究生学术论坛最佳口头报告奖，2022年11月

4. 2022年粤港澳大湾区高价值专利培育布局大赛战略性新兴产业集群百强项目，2022年9月，

5. 第八届纳米制造国际会议最佳论文奖，2022年9月

6. 2021年光学仪器和技术国际会议最佳学生论文奖，2022年4月

7. 国际期刊Nanomanufacturing and Metrology (NMME)突出贡献奖，2022年1月

8. 2021年度清华大学优秀硕士学位论文指导老师奖，2021年6月

9. 第16届IEEE微纳工程和分子系统国际会议最佳论文奖，2021年4月

10. 2020年度清华大学疫情期间线上教学优秀教师优秀奖，2020年7月

11. 清华大学深圳国际研究生院优秀共产党员，2019年6月

12. 深圳市高层次专业人才后备级人才，2018年1月

13. 国际出版集团Elsevier高被引论文作者，2016年12月

14. 深圳市海外高层次人才孔雀计划C类人才，2016年2月

15. 东北大学校长奖 Tohoku President’s Award，2015年3月，单独受奖

16. 日本精密工学会东北支部优秀演讲奖励奖，2012年12月，单独受奖

17. 西安交通大学优秀毕业生干部，2011年3月，单独受奖

18. 武汉大学优秀毕业生，2008年6月，单独受奖

19. 武汉大学优秀共产党员，2008年6月，单独受奖

20. 武汉大学第六届“自强杯”大学生课外学术科技作品竞赛优秀成果一等奖，2007年5月，单独受奖

1. 李星辉, 韩民. 一种获取折叠相位的方法、三维重建的方法及系统: ZL202210085619.1[P]. 2023-06-02.

2. 李星辉, 倪凯, 肖翔, 周倩, 王欢欢, 曾理江, 袁伟涵, 苏晓, 王晓浩. 一种光栅衍射光偏转棱镜: ZL201611217716.2[P]. 2023-01-24.

3. 李星辉, 陈瑞铭, 王晓浩, 周倩, 倪凯. 传感器、传感器标定方法与设备、存储介质: ZL202010420953.9[P]. 2023-01-10.

4. 薛高鹏, 李星辉, 王晓浩. 一种静电梳齿驱动式低串扰运动的面内二维定位平台: ZL202110082495.7[P]. 2022-06-28.

5. 李星辉, 余康宁, 周倩, 吴冠豪, 倪凯, 王晓浩. 检测系统、检测方法及光栅尺: ZL202010817814.X[P]. 2022-06-21.

6. 李星辉, 施亚平, 周倩, 倪凯, 王晓浩. 一种绝对式光栅尺参考位置测量方法及系统: ZL201910654027.5[P]. 2021-10-22.

7. 李星辉, 余康宁, 周倩, 吴冠豪, 倪凯, 王晓浩. 检测系统及光栅尺: ZL202021708709.4[P]. 2021-03-19.

8. 白蛟, 李星辉, 王晓浩，周倩，倪凯. 一种基于短量程扫描的光谱共焦测距方法、装置及设备: ZL201910299741.7[P]. 2021-03-19.

9. 李星辉, 白蛟, 王晓浩，周倩，倪凯. 一种光谱共焦轴向距离测量方法、装置及设备: ZL201910299737.0[P]. 2021-03-05.

10. 李星辉, 肖翔, 倪凯, 周倩, 袁伟涵, 陆海鸥, 曾理江, 王晓浩. 一种大量程干涉式光栅尺及其测距方法: ZL201810764638.0[P]. 2020-07-03.

11. 李星辉, 肖翔, 周倩, 倪凯, 王培荣, 王晓浩. 一种光谱编码距离传感器系统: ZL201810791500.X[P]. 2020-03-06.

12.李星辉, 朱培源, 钱翔, 冯峰, 赵骞, 王晓浩. 一种双线激光的三维轮廓扫描装置及方法: ZL201810443975.X[P]. 2020-02-14.

13. 李星辉, 倪凯, 王欢欢, 周倩, 王晓浩, 冒新宇, 曾理江, 肖翔. 絶対式の格子スケール. 日本发明专利, 特许第6641650号（特願2018-552216）, 2020-01-08.

14. 李星辉, 吴豪, 王晓浩, 周倩, 倪凯. 一种基于压电测量的晶体清洁装置: ZL201821635777.5[P]. 2019-08-20.

15. 李星辉, 吴豪. 一种颗粒物沉降质量测量装置: ZL201821632085.5[P]. 2019-08-20.

16. 李星辉, 李建雄, 周倩, 倪凯, 王晓浩. 对称布置的激光位移传感器的光束对准装置: ZL201822178936.X[P]. 2019-08-20.

17. 李星辉, 陈瑞铭, 倪凯, 白蛟, 王晓浩, 周倩. 一种激光成像测距系统: ZL201821910659.0[P]. 2019-07-23.

18. 冯峰, 李星辉, 周文萌, 刘彬彬, 黄俊龙, 冯平法. 一种快速测算表面粗糙度与测量尺度关系的方法: ZL201910569990.3[P]. 2019-06-27.

19. 李星辉, 陆海鸥, 周倩, 王晓浩, 袁伟涵, 倪凯, 吴冠豪. 一种光栅尺拼接姿态检测系统与光栅尺拼接系统: ZL201821493743.7[P]. 2019-04-23.

20. 余浩洋, 马茹玉, 倪凯, 吴冠豪, 周倩, 李星辉, 王晓浩. 一种双光频梳测厚光路结构及系统: ZL201821500142.4[P]. 2019-04-23.

21. 余浩洋, 马茹玉, 倪凯, 吴冠豪, 周倩, 李星辉, 王晓浩. 一种分级控制的温控盒及飞秒频率梳: ZL201821492303.X[P]. 2019-04-23.

22. 李星辉, 倪凯, 朱祥文, 周倩, 王晓浩, 胡海飞, 燕鹏. 一种全息光栅的制作装置: ZL201610840386.6[P]. 2018-12-28.

23. 李星辉, 华振, 王晓浩, 倪凯, 钟伦超, 周倩. 一种多层膜在线测厚系统: ZL201820523594.8[P]. 2018-11-23.

24. 李星辉, 周倩, 朱祥文, 倪凯, 王晓浩, 胡海飞, 燕鹏. 一种全息光栅阵列的制作装置: ZL201610839438.8[P]. 2018-08-17.

25.李星辉, 倪凯, 王欢欢, 周倩, 冒新宇, 曾理江, 肖翔. 绝对式光栅尺、其主光栅及测量方法: ZL201610157166.3[P]. 2018-04-20.

26. 李星辉, 倪凯, 王欢欢, 周倩, 王晓浩, 冒新宇, 曾理江, 肖翔. 一种绝对式光栅尺: ZL201610234556.6[P]. 2018-02-09.

27. 李星辉, 倪凯, 肖翔, 周倩, 王欢欢, 曾理江, 袁伟涵, 苏晓, 王晓浩. 一种光栅衍射光偏转棱镜: ZL201621436678.5[P]. 2017-08-22.

28. 倪凯, 李星辉, 肖翔, 周倩, 王欢欢, 曾理江, 袁伟涵, 苏晓. 一种多码道光栅尺及测量设备: ZL201621437176.4[P]. 2017-07-07.

29. 周倩, 倪凯, 胡凯, 王立代, 王晓浩, 李星辉, 董昊, 王兰兰. 一种水下探测系统: ZL201620318157.3[P]. 2016-12-07.

30. 王晓浩, 周倩, 胡海飞, 李星辉, 倪凯, 燕鹏, 张锦超, 逄锦超. 一种具有涂镀层的光学元件: ZL201620311316.7[P]. 2016-09-14.

31. 清水裕樹, 高偉, 伊聡, 李星輝. 干渉リソグラフィにおける2次元パターンの一括露光手法. 日本发明专利, 特開2014-099529．

32. 李星辉, 邓富元, 李一鸣, 单硕楠, 王晓浩. 一种精准对焦的套刻误差测量系统及方法: CN115390369A[P]. 2022-11-25.

33. 李星辉, 单硕楠, 李一鸣, 邓富元, 王晓浩. 一种高分辨率的套刻误差测量装置及方法: CN115390368A[P]. 2022-11-25.

34. 李星辉, 李一鸣, 王晓浩. 一种多通道高精度套刻误差检测系统及方法: CN114578657A[P]. 2022-06-03.

35. 李星辉, 薛高鹏, 陶一豪. 一种编码结构光投影方法及其系统: CN114459381A[P]. 2022-05-10.

36. 李星辉, 汪盛通. 一种绝对式六自由度光栅编码器: CN114459516A[P]. 2022-05-10.

37. 李星辉, 李一鸣, 王晓浩. 一种高精度套刻测量量值溯源方法及散射仪: CN114279577A[P]. 2022-04-05.

38. 李星辉, 刘培源, 白蛟, 王晓浩. 菲涅尔光栅微透镜阵列、光谱仪及光谱共焦面型测量系统: CN113834439A[P]. 2021-12-24.

39. 薛高鹏, 李星辉, 王晓浩. 一种带硅基压阻式传感器的MEMS器件: CN113184799A[P]. 2021-07-30.

40. 李星辉, 陆海鸥, 周倩, 王晓浩, 袁伟涵, 倪凯, 吴冠豪. 检测系统、拼接系统、检测方法、拼接方法与拼接光栅尺: CN109163659A[P]. 2019-01-08.

41. 周倩, 倪凯, 肖翔, 李星辉, 王欢欢, 曾理江, 苏晓, 袁伟涵, 王晓浩. 一种判断光栅尺参考位置的装置及方法: CN108592786A[P]. 2018-09-28.

42. 朱拾东, 罗琳, 王晓浩, 李星辉, 倪凯, 周倩. 一种主动脉外反搏心室衰竭辅助装置: CN108175882A[P]. 2018-06-19.

43. 李星辉, 周倩, 肖翔, 倪凯, 王欢欢, 冒新宇, 曾理江, 苏晓, 王晓浩. 一种判断光栅尺参考点绝对位置的装置及方法: CN108151658A[P]. 2018-06-12.

1.李星辉, 韩耀东. 基于FPGA的光栅尺位移实时结算系统设计: 2020SR0286738.

2. 李星辉，王培荣. 基于RGBD相机的定位导航系统算法: 2020R11L304726.