四甲基氢氧化铵（Tetramethylammonium hydroxide），简称TMAH，是一种有机化合物，分子式为(CH3)4NOH，分子量约91.15。通常以五水结晶化合物（TMAH·5H2O）的形式存在，呈现为无色潮解性针状晶体，有一定的氨气味，熔点62~71℃，沸点120℃。受热易分解，在135~145℃时分解气化，高纯度的四甲基氢氧化铵在140℃时彻底分解，不留下任何残留物。易溶于水和醇类有机溶剂，微溶于二甲基亚砜、二氯甲烷等有机溶剂。四甲基氢氧化铵具有强碱性，能和多种酸反应生成季铵盐，在空气中能迅速吸收二氧化碳形成碳酸盐，还具有较强的甲基化能力，酯化反应速度快。

密度：0.866g/cm3

熔点：68-71℃

沸点：110℃

折射率：1.384（20℃）

外观：无色结晶性粉末

溶解性：溶于水和乙醇等

疏水参数计算参考值（XlogP）：无

氢键供体数量：1

氢键受体数量：1

可旋转化学键数量：0

互变异构体数量：0

拓扑分子极性表面积：1

重原子数量：6

表面电荷：0

复杂度：19.1

同位素原子数量：0

确定原子立构中心数量：0

不确定原子立构中心数量：0

确定化学键立构中心数量：0

不确定化学键立构中心数量：0

共价键单元数量：2

急性毒性：小鼠皮下LD50：19mg/kg；兔子静脉LD50：1mg/kg；猪皮肤LD50：25mg/kg；蛙肠胃LDLo：5mg/kg。

主要用于极谱分析。属于有机强碱，其水溶液广泛应用于电子行业的图形转移工步，做为光刻工步的一种显影液使用。比如半导体芯片制造和液晶面板制造的光刻工艺。

S16：Keep away from sources of ignition - No smoking.

远离火源，禁止吸烟。

S26：In case of contact with eyes, rinse immediately with plenty of water and seek medical advice.

眼睛接触后，立即用大量水冲洗并征求医生意见。

S36/37/39：Wear suitable protective clothing, gloves and eye/face protection.

穿戴适当的防护服、手套和眼睛/面保护。

S45：In case of accident or if you feel unwell, seek medical advice immediately (show the lable where possible).

发生事故时或感觉不适时，立即求医（可能时出示标签）。

R20/21/22：Harmful by inhalation, in contact with skin and if swallowed.

吸入、与皮肤接触和吞食是有害的。

R34：Causes burns.

引起灼伤。