厚膜技术是集
电子材料、
多层布线技术、表面微组装及平面集成技术于一体的微电子技术。在满足大部分电子封装和互连要求方面,厚膜技术已历史悠久。
厚膜技术特别是在可靠小批量的军用、
航空航天产品以及大批量工业用
便携式无线产品中,该技术都发挥出了显著的优势。厚膜材料是有机介质掺入微细金属粉、玻璃粉或陶瓷粉末的混合物,通过
丝网印刷工艺,印制到绝缘基板上。无机相的选择可确定厚膜成分的功能性,金属或金属合金无机相组成导体,金属合金或钉系化合物组成
厚膜电阻。
典型厚膜元件的厚度为0.5 至1 密耳 (即12.7~24.5μm) 或更厚一些,而薄膜元件的膜层一般小于1μm,作为导带还可薄至3 nm左右,
薄膜技术主要采用蒸发和溅射工艺成膜。
1.可印刷性,
染料需具备一定的粘度,且粘度随刮板所施加的切变力而减少,且具有触变性 。
厚膜技术应用得最广泛的领域是厚膜混合集成电路,
厚膜集成电路经历了厚膜电阻、无源网络、
SMT组装HIC,
COB 组装 (板上芯片键合) HIC,密封微电子系统等阶段并发展到今天的多芯片系统( MCS),经受了技术和生产重大变化的厚膜HIC,正呈现蓬勃发展的势头。厚膜HIC作为一种功能电路或微电子系统还涉及到电路的设计及组装及封装等问题。厚膜的相关工艺技术主要的内容有。