是20世纪80年代发展起来的
无机元素和
同位素分析测试技术，它以独特的
接口技术将
电感耦合等离子体的高温电离特性与
质谱计的灵敏快速扫描的优点相结合而形成一种高灵敏度的分析技术。
释文：ICP-MS仪器所使用的
等离子体除了方位和线圈接地方式外，与
发射光谱中使用的基本相同。所使用的
质量分析器、离子
检测器和
数据采集系统又与
四极杆GC-MS仪器相类似。质量分析器多采用
四极杆质谱计，也有采用具有高分辨的双聚焦
扇形磁场质谱计、
飞行时间质谱计等。该技术的特点：灵敏度高；速度快，可在几分钟内完成几十个元素的定量测定；
谱线简单，干扰相对于光谱技术要少；线性范围可达7～9个
数量级；样品的制备和引入相对于其他质谱技术简单；既可用于
元素分析，还可进行
同位素组成的快速测定；测定
精密度(
RSD)可到0.1%。