黄雅婷，女，博士，副教授。负责国家自然科学基金青年基金一项，清华大学摩擦学国家重点实验室开放基金，北京市委组织部人才项目。

2005年毕业于清华大学精密仪器与机械学系，获工学学士学位；

2010年毕业于清华大学精密仪器与机械学系，获工学博士学位。

摩擦学、表界面理论与技术。具体如下：纳米至原子尺度下表面间相互作用机理研究；纳米摩擦学，摩擦机理研究；半导体制造工艺中的化学机械抛光技术及超净表面制备技术；扫描探针显微镜在微纳米尺度摩擦学方面的应用研究。

[1]Huang Y T, Li Y, Guo D, et al. Probing particle removal in brush scrubber cleaning with fluorescence technique. Sci China Tech Sci, 2013, 56:2994-3000

[2]Yating Huang, Dan Guo, Xinchun Lu, Jianbin Luo，Modeling of particle removal processes in brush scrubber cleaning，Wear, Volume 273, Issue 1, November 2011, Pages 105-110

[3]黄雅婷,孟春玲,董秀萍,路新春,铜互连兆声清洗中结构损伤预测的有限元分析,光学精密工程，2013, 21(8) 2064-2070

[4]Yating Huang, Dan Guo, Xinchun Lu , Jianbin Luo, A lubrication model between the soft porous brush and rigid flat substrate for post-CMP cleaning, Microelectronic Engineering, Volume 88, Issue 9, September 2011, Pages 2862-2870

[5]YT Huang, CL Meng, NP Wu, XP Dong, XC Lu, Finite Element Analysis of Failure in Cu Interconnect Megasonic Cleaning, Key Engineering Materials 562, 1471-1476

[6]YT Huang, XP Dong, Simulation of Acoustic Field for Megasonic Bath Cleaning in Advanced Semiconductor Manufacturing, Applied Mechanics and Materials 289, 81-86