黄光
光刻工艺
黄光是在半导体行业里,将硅片等晶片进行涂胶、软烘、曝光、显影、硬烤,使其光刻出一定图形的工艺。
工艺简介
黄光是精细电路的制程工艺之一。
参考资料
最新修订时间:2023-05-24 09:04
目录
概述
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