供高频 (100千赫以上)感应加热用的电源设备。其加热原理同静止式中频加热电源。用于对导体进行感应加热的高频电源，其工作频率大致在0.1～5.0兆赫范围内。其中0.1～0.2兆赫的电源多用于熔炼导体金属，如银、金、铂等；0.3～0.5兆赫的电源用于
锗、
硅及
化合物半导体的有坩埚拉晶，以及黑色、有色及稀有金属的焊接、气体分析、热处理等工艺；1～5兆赫的电源用于硅的无坩埚区熔拉晶。 5兆赫以上电源大都用于电介质加热。这种加热方式是利用
电介质在高频电场作用下极化了的分子来回扭转所产生的摩擦热。它适用于潮湿木材和纸张的干燥，塑料的加热成形或焊接等。
到20世纪80年代，限于工作频率较高的固体器件功率较小，工业用高频加热电源大都仍采用电子管式高频振荡器。它由振荡管、LC负载振荡回路、直流电源和反馈回路等组成。从应用观点出发，它要求电路简单，容易起振，输出功率大，效率高；而对电流波形和频率的稳定性要求不高。因此大多采用自激的电感三点式和变压器
反馈式振荡器；在介质加热电源设备中，常用推挽式电路，以提高高频电压，加大
电场强度，增进介质加热效果。
高频加热电源的整机效率很低，一般不足50%。加热电源的工作频率与LC负载振荡回路的谐振频率的自动跟踪、高频电流的高效传输、新导磁材料的应用等是提高这类电源效率的途径。
随着电子工业的发展，新型的特高频大功率振荡管不断涌现。80年代初，输出功率50千瓦、频率1000兆赫的磁控管已用于介质加热。采用磁控管已能使振荡管频率达 10000兆赫（波长为30厘米）。利用波长在几厘米以下的行波管、微波管，实现了微波加热。微波可用波导管无损耗地传递；再用特殊材料做的凸透镜进行集中，用以解决一些特殊加热问题，这是高频加热的新途径。