面精度_采用精密抛光表面与理想平面的偏差量来表征的数据

面精度

采用精密抛光表面与理想平面的偏差量来表征的数据

面型精度是采用精密抛光表面与理想平面的偏差量来表征的数据。面型精度采用精密抛光表面与理想平面的偏差量来表征。因为使用可以测量波面的干涉仪来测量，所以也称为反射面精度。面型精度的干涉条纹数的单位是[λ ]。λ是干涉仪所用的氦氖激光器的波长632.8nm。

表征面型精度有两个参数：PV和RMS值。

PV值是 Peak to Valley （峰值与谷值的差值），RMS值是 Root Mean Square （均方根值），根据经验RMS值是PV值的1/3左右。因为像平面这类的简单形状，大多使用PV值来表示。

例如：面型精度的PV值是1/4λ时，表示理想平面的最大偏差值是158.2nm。

参考资料

最新修订时间：2024-01-16 15:58

条目作者

概述

参考资料