当真空室内的
真空度为13Pa时，在阴阳两电极之间加上一定的电压，气体就会发生自激放电，从阴极发射出的原子或原子团可沉积在阳极或真空室的壁上。这种溅射就称为阴极溅射。
阴极溅射放电回路，是靠气体放电产生的正离子向阴极运动和一次电子向阳极运动形成的，放电过程是靠正离子撞击阴极产生二次电子，通过克鲁克斯暗区被加速，以补充一次电子的消耗来维持。因此，外部电路中测得的放电是轰击靶的正离子流和阴极发射的二次电子流之和。
具有足够能量的带电粒子或中性粒子碰撞物体表面时，可把能量传递给表面的原子。只要表面原子获得的能量大于本身的电离能，就能摆脱周围原子的束缚而离开物体表面，这种现象称为溅射。