金刚石薄膜，20世纪80年代中后期迅速发展的一种优良的人工制备材料。通常以甲烷、乙炔等碳氢化合物为原料，用热灯丝裂解、微波等离子体气相淀积、电子束离子束轰击镀膜等技术，在硅、碳化硅、碳化钨、氧化铝、石英、玻璃、钼、钨、钽等各种基板上反应生长而成。不仅具有金刚石的硬度，还有良好的导热性、良好的从紫外到红外的光学透明性和高度的化学稳定性。在半导体、光学、航天航空工业、大规模集成电路等领域有广泛的应用前景，已在硬质切削刀具、X射线窗口材料、贵重软质物质保护涂层等方面应用。