贵州省微纳电子与软件技术重点实验室
贵州大学下属实验室
贵州省微纳电子与软件技术重点实验室 是贵州省人民政府依托贵州大学建立的重点实验室。实验室于2004年2月经省科技厅批准立项,并由省科技厅和贵州大学共同投资建设,在2007年建设完成验收并正式对外开放。
机构简介
实验室依托贵州大学微电子学与固体电子学硕士点、博士点和电路与系统硕士点。现有固定研究人员13人,其中博士4人,教授5人,博士导师4人,省管专家3人,硕士导师10人,在读博士12人,在读硕士62人。实验室使用面积700平方米,实验室仪器设备总值约约1100余万元,主要设备有:分子束外延及低温扫描隧道显微镜联合系统、JGP560CVIII型带空气锁的超高真空多功能溅射系统、三英寸双极型集成电路生产线一条、低温超导测试系统等。
实验室建成后不断拓展研究领域,目前已建成超导材料与应用研究、低维半导体结构研究、微电子材料研究、新型光电子材料与技术研究、微电子工艺研究、集成电路设计与验证研究六个研究室。实验室的主要研究方向:超导薄膜的制备和应用研究,金属基纳米电介质材料的产业化开发,微纳器件的基础物理研究、磁光薄膜的制备及应用研究、环境半导体材料基础物理和应用研究、集成电路设计及制造工艺研究等方面。
机构成果
自建立以来,已经累计获国家自然科学基金项目5项,国家部委级科研项目7项,省科技攻关项目3项,省级科学基金和省长基金多项,年纵向科研经费达100万元以上。发表论文110多篇,核心期刊以上论文40多篇。在超导薄膜的制备和应用研究,金属基纳米电介质材料的产业化开发,微纳器件的基础物理研究、磁光薄膜的制备及应用研究、环境半导体材料基础物理和应用研究等方面,处于国内先进水平行列。
参考资料
最新修订时间:2023-06-25 18:51
目录
概述
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