蚀刻速率
物理量
蚀刻速率（etching rate）是表征固体介质被化学试剂蚀刻快慢的物理量。
与材料性质、人射带电粒子性质、化学试剂性质以及温度等参量有关。
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最新修订时间：2022-03-28 14:22
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