臭氧浓度是指单位体积内臭氧所占的含量。采用质量比单位mg/L，g/m3，采用体积比单位1%，5%等，卫生部门常使用ppm这个单位。以上这些单位常用于标注
臭氧发生器出口浓度或大气臭氧浓度。
臭氧浓度表示了臭氧制备设备产生臭氧的能力，是指单位体积内臭氧的重量之和，这个值越大，表示臭氧制备设备产生臭氧的速度越快。由于臭氧很不稳定，会自行分解，因此臭氧需要现制现用。
由于这个浓度值比较抽象，并且不同厂商标注这个参数时使用不同的单位。此外呼吸浓度过高或者长时间呼吸浓度较高的臭氧对人的身体有害，甚至造成中毒，因此臭氧浓度也不是越高越好。
医用臭氧被生成时经常处于不同的浓度，臭氧的量比上
臭氧发生器进气口医用纯氧的量就叫百分率浓度，单位为微克每毫升（μg/ml）。标准状况下，一升氧气质量为1.4克。标准状况：通常指温度为0℃（273.15K）和压力（或压强）为101.325千帕（1标准大气压，760毫米汞柱）的情况。
60μg/ml 的臭氧被认为是臭氧血液治疗方式的上限，60 μg/ml以上的臭氧静脉入血方式使用可能造成红细胞折叠，进而发生溶血。Dr.sweet等的实验显示72 μg/ml以上浓度的臭氧可以抑制健康细胞生长。如果我们保持在臭氧浓度在60μg/ml以下，臭氧
自体血回输等治疗将不会发生问题。