细致平衡，严格的热动平衡，即难以实现的微观可逆平衡状态。在高温气态等离子体中，原子、离子、电子均以很高的速度在运动着，彼此不断地互相碰撞。

正文

由于非弹性碰撞或吸收适当能量的光子，原子可以失去电子而成为离子（或离子失去电子而成为更高次电离离子），而另一些一次电离的离子由于碰撞或辐射出一定能量的光子而与电子复合为原子（高次电离离子则降低一次电离级）；由于碰撞，原子（或离子）吸收一部分能量而被激发到较高能级，而另一些处于较高能级的原子（或离子）由于非弹性碰撞将其多余能量转移给与之相碰的粒子而降到较低的能级；一些原子（或离子）吸收了一定能量的光子而跃迁到较高能级，而另一些处于较高能级的原子（或离子）辐射出一定能量的光子而自发跃迁到较低能级。

当上述的高温气态等离子体处于热动平衡状态，而辐射场能量密度不是太小、气体密度又是适中的时候，上述的正、反两类过程就可能逐渐相对稳定，而达到一种严格的平衡状态。也就是：①由于碰撞而从某一能级n上被（再次）电离的原子（或m次电离的离子）数目等于因碰撞而俘获电子复合到同一能级的原子（或m次电离的离子）数目；②由于吸收适当能量的光子而从某一能级n上被（再次）电离的原子（或m次电离的离子）数目等于俘获电子后放射出适当能量的光子而复合到同一能级的原子（或m次电离的离子）数目；③由于碰撞,原子（或离子）吸收了一定能量而从能级n被激发到更高能级n'上的数目等于因非弹性碰撞，原子（或离子）失去一定能量而从能级n'下落到能级n上的数目；④由于吸收一定能量的光子，原子（或离子）从能级n受迫跃迁到能级n'的数目等于辐射出一定能量的光子，而从能级n'自发跃迁到能级n的原子（或离子）数目。上述每一种正过程的数目都与它的逆过程的数目相等，这样的一种平衡状态便称为细致平衡。当高温气态等离子体一旦处于细致平衡状态时，它肯定就处于热动平衡状态，但是，处于热动平衡状态的高温气态等离子体却未必处于细致平衡状态。