《纳机电系统》是2018年4月机械工业出版社出版的图书，作者是劳伦·特拉夫格。

本书介绍了MEMS（微机电系统）向NEMS（纳机电系统）的演变、NEMS的相关理论和技术以及相关的前沿研究。书中内容主要讨论了NEMS的机电特性、尺度效应带给NEMS的有趣性能以及制造工艺，为该领域未来的研究提供了清晰的叙述。

译者曹峥，2012年起，捷迈（Zimmer Inc.）生物制剂研发部，研究科学家-2010年至2011年，安捷伦（Agilent Technologies）研发中心，实习研究科学家-2008年至2010年，田纳西大学（University of Tennessee）材料科学与工程学院，助理研究员-2006年至2007年，天津三星电机有限公司（Samsung Electro-Mechanics），研发工程师

译者序

原书前言

物理常数

物理量

第1章从MEMS到NEMS 1

1.1微纳机电系统：概述1

1.2小结7

第2章纳米尺度上的转导与噪声的概念9

2.1机械传递函数9

2.2转导原理14

2.2.1纳米结构的驱动15

2.2.2检测21

2.3自激振荡与噪声34

2.4小结39

第3章NEMS与其读出电路的

单片集成41

3.1简介41

3.1.1为什么要将NEMS与其读出电路进行集成41

3.1.2 MEMS-CMOS与NEMS-CMOS之间的区别42

3.2单片集成的优势与主要途径43

3.2.1集成方案及其电气性能的比较43

3.2.2闭环NEMS-CMOS振荡器：构建基于NEMS的频率传感器的必不可少的组成模块46

3.2.3从制造技术的角度概述主要成就47

3.3从转导的角度对一些显著成就的分析51

3.3.1电容式NEMS-CMOS的案例51

3.3.2压阻式NEMS-CMOS的案例55

3.3.3替代途径58

3.4小结与未来展望59

第4章NEMS与尺度效应60

4.1简介60

4.1.1固有损耗64

4.1.2外部损耗65

4.2纳米结构中的近场效应：卡西米尔力69

4.2.1卡西米尔力的直观解释69

4.2.2问题70

4.2.3两个硅板之间卡西米尔力的严格计算72

4.2.4纳米加速度计内卡西米尔力的影响76

4.2.5本节小结79

4.3“固有”尺度效应的示例：电传导定律80

4.3.1电阻率80

4.3.2压阻效应85

4.4光机纳米振荡器和量子光机93

4.5小结101

第5章结论与应用前景：从基础物理到应用物理102

附录114

附录A针对纳米线的“自下而上”和“自上而下”制造工艺114

A.1“自下而上”制造114

A.2“自上而下”制造116

附录B卡西米尔力详述117

参考文献119