紫外光刻胶
用紫外光作曝光光源的光刻胶
紫外光刻胶(UV resist)是用
紫外光
作
曝光
光源的光刻胶。
一般是指分光感度波长为sao一450nin的近紫外抗蚀剂紫外光刻胶有负性、正性和止一负性两用三类。负性的代表品种是聚乙烯醇肉桂酸醋、环化橡胶系抗蚀剂、止性代表品种是重氦茶酿系抗蚀剂,正负性抗蚀剂是为丁兼顾其既有.卜性又有负性的性能,往往会给全面照顾抗蚀剂应用上带来一些难题,尚未商品化、
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最新修订时间:2022-08-05 16:33
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