离子溅射_物理气相沉积的方法 - 威林百科weilinceramic.com

离子溅射

物理气相沉积的方法

离子溅射，一种物理气相沉积的方法。在真空室内通入（0.1～1.0）×106帕的惰性气体（如氩），使之在高压下辉光放电，气体离子在强电场作用下轰击膜料制成的阴极靶，使表面的原子被溅射出来，沉积在基体上成膜。

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最新修订时间：2022-07-27 11:04

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