离子束增强沉积
材料科学技术名词
离子束增强沉积是2005年公布的材料科学技术名词。
定义
电子束蒸发或溅射沉积薄膜的同时，用一定能量的离子束进行轰击，以在衬底上形成具有特定性能表面覆盖层的技术。
出处
《材料科学技术名词》。
参考资料
离子束增强沉积.术语在线.
最新修订时间：2023-01-16 22:11
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