离子刻蚀
利用离子轰击作用，对材料表面进行刻蚀的过程
离子刻蚀（ion etching）是2011年公布的材料科学技术名词，利用离子轰击作用，对材料表面进行刻蚀的过程。
定义
利用离子轰击作用，对材料表面进行刻蚀的过程。
出处
《材料科学技术名词》。
参考资料
离子刻蚀.术语在线.
最新修订时间：2024-06-26 23:21
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