碳酰氟，又名羰基氟、氟光气，是一种化学物质，化学式为COF2，主要用作半导体制造装置的清洗气和刻蚀气，也可用作有机合成的中间体、氟化剂，作为半导体制造装置用的清洗气需要高纯度的COF2。
理化性质
密度：1.244g/cm3
熔点：-114ºC
沸点：-84ºC
折射率：1.207
计算化学数据
疏水参数计算参考值（XlogP）：0.8
氢键供体数量：0
氢键受体数量：3
可旋转化学键数量：0
互变异构体数量：0
拓扑分子极性表面积：17.1
重原子数量：4
表面电荷：0
复杂度：29
同位素原子数量：0
确定原子立构中心数量：0
不确定原子立构中心数量：0
确定化学键立构中心数量：0
不确定化学键立构中心数量：0
共价键单元数量：1
用途
主要用作半导体制造装置的清洗气和刻蚀气，也可用作有机合成的中间体、氟化剂，作为半导体制造装置用的清洗气需要高纯度的COF2。