电子束曝光机是一种用于数学领域的分析仪器，于2007年01月01日启用。
技术指标
型号：日本电子JBX6300FS 加速电压：100KV 扫描频率：12MHZ 可加工最大样品：4英寸 对外服务加工精度：关键尺寸50nm以上。
主要功能
电子束曝光机是一台加工设备，其加工目的是在电子束感光胶上制备出纳米级的结构。该设备电子的加速电压达到100KV，扫描速度12MHz，具有10个承片台；因此其具有加工精度高，速度快，自动化程度高等特点，从而具有比较高的工作效率。加工样品不需要掩膜版制备，使得图形能够灵活多变，非常适用于科研探索。