塞贝克效应为：由两种不同材料（
导体或
半导体材料）A、B组成闭合回路，在两个结点处于不同的温度Th和TC时，载流子沿着温度梯度移动，则在该回路中产生热电动势,该现象称为塞贝克效应或热电效应。多对热电偶串联则形成“堆”。
塞贝克系数是
热电材料独有的，是度量材料上的温差引起热电电压大小的量，塞贝克系数差值的提高可以提高探测器的电压输出及响应率；除此之外，
热导率是指材料的导热能力，导热能力越好，温差越不明显，因此材料热导率越低，温差得到提升进而提高响应率。根据
威德曼-弗朗兹定律，材料的热导率和电阻率之间存在一定关系，因此通常将热导率和电阻率进行相乘，得到的乘积称为热电优值来判断材料的热电转换效率。
通过
MEMS技术实现的MEMS热电堆红外探测器是由吸收区、热偶对、支撑膜、电极、金属连接线、硅基底组成的，如图2所示。其中靠近吸收区的热偶端为热端、远离吸收区的一端为冷端。悬浮介质膜支撑上方的热电偶区和红外吸收膜。热端与红外吸收区连接，冷端位于单晶硅基底上。单晶硅基底与环境温度一致，当有红外辐射时冷热两端产生温差，进而产生电压输出。
MEMS热电堆的优势在于低成本、小型化、低功耗、高灵敏度以及制造与
CMOS工艺相兼容。上述这些特点使MEMS热电堆得到广泛应用，例如额温枪和温度测量仪等。得益于成本效益高的大规模生产和高度的集成性，MEMS热电堆还可以与其他电子组件和系统进行集成，进一步扩展了其在医疗、环境监测、工业控制和消费电子产品的应用范围。例如，疫情期间上市的荣耀Play Pro4中就加入了热电堆传感器，可以在不同场景下准确测温，不仅可以实时测量体温，还可以测量各种物体的温度。