炉况
术语
炉况的维护一般坩埚区温度高低决定坩埚大小,料面透气范围的大小是坩埚大小的表现。
所以在炉况的维护时要求:①电极深插稳插②料面透气性好,火焰区宽大均匀。因为电极深插,坩埚区温度提高,使SiC的破解反应区增大,SiC的破解反应加快;炉料...
参考资料
最新修订时间:2024-02-09 19:21
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概述
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