溅射沉积
用高能粒子轰击靶材，使靶材中的原子溅射出来，沉积在基底表面形成薄膜的方法
溅射沉积指用高能粒子轰击靶材，使靶材中的原子溅射出来，沉积在基底表面形成薄膜的方法。
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最新修订时间：2023-11-08 13:44
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