2000 年 8 月 18 日，清华大学和珠海市政府共同签署了合作建立 “ 清华科技园（珠海） ” 的协议； 2001 年 6 月 9 日，清华科技园（珠海）奠基； 2002 年 9 月 9 日，清华科技园（珠海）开园。
清华科技园（珠海）占地 15.96 万平方米，
总建筑面积 15.18 万平方米，总投资 5 亿元人民币。园区建成后，拥有项目孵化用房 6.9 万平方米，开放实验室及科研开发中心 3.76 万平方米，教室及办公用房 2.0 万平方米，员工宿舍及接待用房 2.0 万平方米。同时园区配套商务中心、餐厅、健身场所等服务设施。
建筑面积 3.7 万平方米的创业大楼（包括企业孵化用房、实验室及科研开发中心、各类教室和配套的各类会议厅）、 1.1 万平方米的综合楼和 2 万平方米的公寓楼均已投入使用，为
高新技术企业及成果的孵化、高新技术及管理人才的培养、高科技项目的研究开发和高科技成果的推广提供了优越的基础设施。