清华大学集成电路学院于2021年4月22日成立，为清华大学实体教学科研机构，隶属信息学院。

2020年10月，清华大学学位委员会投票通过设立集成电路科学与工程一级学科博士硕士学位授权点。

2021年4月，为服务国家重大战略需求，聚焦国家关键领域，加快清华大学集成电路学科的发展，经清华大学第十四届党委第一百五十八次常委会会议讨论通过，决定成立清华大学集成电路学院。集成电路学院将由原微电子与纳电子学系与电子工程系共建，发挥清华大学多学科优势，探索“1+N”联合机制，与相关院系成立交叉研究中心，实现完整覆盖集成电路产业链的人才培养和科研攻关。

2021年4月22日，清华大学集成电路学院成立。学院将瞄准集成电路“卡脖子”难题，聚焦集成电路学科前沿，打破学科壁垒，强化交叉融合，突破关键核心技术，培养国家急需人才，实现集成电路学科国际领跑，支撑我国集成电路事业的自主创新发展。

2024年12月24日，清华大学集成电路学院集成电路标准研究所成立仪式暨集成电路标准研讨会在清华大学举行。

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集成电路特别是高端芯片是多学科、多领域交叉融合的基础研究和前沿工程技术的结晶，是引领新一轮科技革命和产业变革的关键力量，是国家综合实力的重要标志，是大国竞争的战略制高点。集成电路人才强，集成电路产业才会强。

中国集成电路人才严重短缺，尤其缺少领军人才、复合型创新人才，这已经成为制约中国集成电路产业发展的最大软肋。加快培养紧缺高层次人才，强化集成电路学科发展，才能更好地支撑中国成为集成电路强国。

在此背景下，清华成立集成电路学院，由原清华微电子与纳电子学系与电子工程系共建。