深能级瞬态谱_检测半导体中微量杂质、缺陷的深能级及界面态

深能级瞬态谱

检测半导体中微量杂质、缺陷的深能级及界面态

深能级瞬态谱能检测半导体中微量杂质、缺陷的深能级及界面态。通过深能级瞬态谱仪对样品的温度扫描，可以给出表征半导体禁带范围内的杂质、缺陷深能级及界面态随温度（即能量）分布的DLTS谱。