涡轮分子真空泵_高真空获得设备 - 威林百科weilinceramic.com

涡轮分子真空泵

高真空获得设备

涡轮分子真空泵是指有一高速旋转的叶轮，当气体分子与高速旋转的涡轮叶片相碰撞时就被驱向出气口再由前级泵抽除。

涡轮分子泵是一种高真空获得设备（真空度可高达10-8Pa），具有真空度高、抽速大、无油洁净等优点。分子泵运行时须有前级泵工作和专用电源供电。

应用领域Applications

广泛应用于镀膜、电子、半导体、太阳能、真空炉、化工、离子刻蚀、光盘制造、制灯、航空航天、核能源等相关行业和教学、科研单位。

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最新修订时间：2024-04-23 22:56

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