气相掺杂
通过气相使杂质进入半导体的技术
气相掺杂指通过气相使杂质进入半导体的技术。
应用学科：材料科学技术（一级学科），半导体材料（二级学科），总论（三级学科）
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最新修订时间：2024-05-21 18:03
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