气体输运系统
材料科学技术学术语
气体输运系统是2011年公布的材料科学技术名词。
定义
在化学气相沉积或外延生长系统中，向反应室提供原料气体的管路系统。
出处
《材料科学技术名词》。
参考资料
气体输运系统.术语在线.
最新修订时间：2023-01-15 10:18
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