极紫外光刻胶
在极紫外光刻技术中所应用的光刻胶
极紫外光刻胶是指在极紫外光刻技术中所应用的光刻胶。
极紫外光刻用于量产，必须满足以下几个条件：
首先是产能，2015年极紫外管个科技的产能只有80片/每小时，这一性能必须提高至至少两倍才能达到量产要求。也就是说，极紫外光刻机曝光是的功率必须增大一倍。
其次，掩模上的缺陷密度必须降低到使用要求，这些缺陷主要来源于空白掩模基板和掩模版使用时的外来颗粒。
第三，光刻胶必须满足分辨率、图形边缘粗糙度以及敏感度的要求，总结如下表：
最新修订时间：2024-01-15 20:04
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