机械泵,即机械真空泵,是制造
真空的一种
机械,它可以把一个密闭的或半密闭的空间中空气排出或者吸收,达到局部空间的相对
真空。常见的真空泵有
往复式真空泵、水环泵、
分子泵、
旋片式真空泵、活塞式真空泵、摇摆活塞式真空泵、隔膜式真空泵、线性真空泵等种类非常多。
机械泵由电机和泵体两大部分组成。普通型机械泵由电机通过皮带带动泵轴旋转;直连型机械泵是电机直接与泵轴连接,无中间传动环节。机械泵是利用气体膨胀、压缩、排出的原理,把气体从容器里抽出的。之所以称之为机械泵,是因为它是利用机械的方法,周期性地改变泵内吸气腔的容积,使容器中的气体不断地通过泵的进气口膨胀到吸气腔中,然后通过压缩经排气口排出泵外。改变泵内吸气腔容积的方式有活塞往复式、定片式和旋片式,分别称为往复式机械泵、定片式机械泵和旋片式机械泵。由于实际应用中,旋片式机械泵使用较多,现以旋片式机械泵为例说明其工作原理。
旋片机械泵的结构如图1所示,主要由圆柱空腔定子、偏心转子、旋片、弹簧、顶盖和排气阀等零件组成。偏心转子的顶端始终保持与泵体定子内腔接触,当偏心转子旋转时,始终沿定子的内壁滑动。转子上开有两个滑槽,分别安装一个旋片,中间有一个弹簧,当旋片随转子旋转时,借助弹簧张力和离心力,使两旋片紧贴在定子内壁滑动。整个空腔放在油箱内。
两个旋片把转子、定子内腔和定盖所围成的月牙形空间分隔成A、B、C三个部分,分别叫做吸气腔、压缩腔和排气腔。当转子按图示方向旋转时,与进气口相通的空间A的容积不断地增大,A空间的压强不断地降低,当A空间内的压强低于被抽容器内的压强,根据
气体压强平衡的原理,被抽的气体不断地被抽进吸气腔A,此时压缩腔B空间的容积正逐渐减小,
气体压力不断地增大,同时与排气口相通的排气腔C的容积进一步地减小,排气腔C的空间压强进一步地升高,当气体的压强大于排气压强时,被压缩的气体推开
排气阀,穿过油箱内的油层而排至大气中。在泵的连续运转过程中,不断地进行着吸气、压缩、排气过程,从而达到连续抽气的目的。 显然转子的转速愈快,则泵的抽速愈大。机械泵的转速一般在450~1400r/min之间,因为转速太高,密封极为困难。排气阀浸在油里,以防止大气流人泵中。为保证吸气腔和排气腔之间不漏气,除保证紧密接触之外,还采用蒸气压力较低且有一定薪度的专用机械泵油,并使油通过泵体上的间隙、油孔及排气阀进人泵腔,使泵腔内所有运动的表面被油覆盖,形成了吸气腔与排气腔的密封。此外机械泵油还起着润滑和帮助在
气体压强较低时打开
排气阀门的作用。同时机械泵油还可充满了一切有害空间,以消除它们对
极限真空的影响。
上面讨论的机械泵只有一个转子,称为
单级旋片式真空泵,它所能达到的极限压强为1Pa。为提高极限压强,通常采用双级泵结构,即将两个
单级泵串联起来,可使极限压强达到 Pa
数量级。