五十一法为：遍行法五（触、作意、受、想、思），别境法五（欲、胜解、念、定、慧），善法十一（信、惭、愧、无贪、无瞋、无痴、精进、轻安、不放逸、行舍、不害），根本烦恼六（贪、瞋、痴、慢、疑、恶见），随烦恼二十（忿、恨、恼、覆、诳、谄、憍、害、嫉、悭、无惭、无愧、不信、懈怠、放逸、失念、不正知、散乱、昏沉、掉举），不定法四（悔、眠、寻、伺）。
瑜伽行派对宇宙万有各种现象的分类法，包括心法八种，心所有法五十一种，色法十一种，心不相应法二十四种，无为法六种，合计共百种，故称五位百法。1、心法。分八识，即眼识（视觉）、耳识（听觉）、鼻识（嗅觉）、舌识（味觉）、身识（触觉）、意识（统一各种心理作用的意识）、末那识（思维度量的识）、阿赖耶识（根本识）。2、心所有法。分六品、五十一种。遍行：有作意、触、受、思、想五种。别境：有欲、胜解、念、定、慧五种。善：有信、精进、惭、愧、无贪、无瞋、无痴、轻安、不放逸、行舍、不害十一种。根本烦恼：有贪、瞋（仇恨）、痴（愚昧）、慢（傲慢）、疑（犹豫不决）、恶见（错误见解）六种。随烦恼。有忿、恨、复、恼、嫉、悭、诳、谄、害、憍、无惭、无愧、掉举、惛沈、不信、懈怠、放逸、失念（遗忘）、散乱、不正知二十种。不定：有悔、睡眠、寻、伺四种。3、色法。分一根（眼、耳、鼻、舌、身）、五尘（色、声、香、味、触）和法处所摄色十一种。4、心不相应法。分得、命根、众同分（众生的共性）、异生性（形成众生之间不同的本性）、无想定、灭尽定、无想事、名身、句身、文身、生、老、住、无常、流转、定异（区别）、相应（因果相称）、势速（变化的速度）、次第（序列）、方（空间）、时、数、和合性（总性）、不和合性（分解）二十四种。5、无为法。分虚空无为、择灭无为、
非择灭无为、不动灭无为（不为苦乐所动的境界）、想受灭无为(灭断一切感性思维,直观证悟的境界)、真如无为（达到最高真理的精神境界）。