《微系统与纳米工程》由中科院电子所所长吴一戎院士担任主编，主要发表原创性论文及综述，反应微纳机电系统（MEMS/NEMS）领域的最新研究进展的期刊。稿件刊登范畴包括微纳米器件和系统的新设计（理论、建模和仿真）、先进制造、测试技术、可靠性及新应用、纳米工程技术等。

《微系统与纳米工程》为致力于微纳机电系统研究的科研人员，提供了一个发表研究成果的优质国际性平台。采用开放获取形式传播这一重要领域中的最新进展。

2014年5月28日，中国上海—英国自然出版集团（NPG）与中国科学院电子学研究所（简称“中科院电子所”，IECAS）今天宣布将于2015年出版新的开放获取（Open Access）在线期刊——《微系统与纳米工程》（Microsystems & Nanoengineering）。该刊将于2015年3月在nature.com正式上线，并于2016年下半年开始接受投稿。

主要发表原创性论文及综述，反应微纳机电系统（MEMS/NEMS）领域的最新研究进展。稿件刊登范畴包括微纳米器件和系统的新设计（理论、建模和仿真）、先进制造、测试技术、可靠性及新应用、纳米工程技术等。