失误树分析为一种将各种不欲发生之故障情况（如：制程偏离、反应失控），以推理及解决，逐次分析的方法。失误树分析依据待分析系统的故障机制逻辑模型来计算失误树顶层事件（或失误树中任一事件逻辑门）的发生频率/机率。除了正确与完整的故障逻辑模型外，故障树分析还需要为每一个基本事件门输入适当与可信的失效数据，才能分析出可信的发生率与机率结果。

其应用对象主要在系统安全分析时欲评估其可靠度的系统或次系统，具有下列功效：

（1）它强迫分析者应用推理的方法，努力地思考可能造成故障的原因。

（2）它提供明确的图示方法，以使设计者以外的人，也可以很容易地明确导致系统故障的各种途径。

（3）它指出了系统较脆弱的环节。

（4）它提供了评估系统改善策略的工具。

失误树分析首先为核工界所应用。其后被用于分析大型化工厂之安全分析及液化石油气工厂的安全分析。大部分的机率风险分析计量均采用失误树模式，并与事件树分析配合使用。

失误树是由上而下式的方式，回溯发展模式，演绎或推论后果至其原因。

事件树是由下而上式的方式，前向发展模式，归纳或引导原因至其后果。

失误树的分析程序归纳如下

（1）系统定义：定义分析范围及分析边界；定义起始条件；定义顶端事件

（2）系统逻辑模型建构：依据设计资讯、操作逻辑，由危害辨认之重大故障后果，即顶端事件演绎其所有可能的发生原因，以建立失误树。

（3）共同原因失误模式分析。

（4）定性分析：布林代数化减；找出最小分割集合。

（5）由失误率资料库搜集基本事件失误率

（6）依照制程条件、环境因素等修正基本事件失误率。

（7）建立失误率资料库/资料档。

（8）定量分析

（9）MCS排序、相对重要性分析。