多晶硅铸锭炉
工艺试验仪器
多晶硅铸锭炉是一种用于物理学、冶金工程技术、能源科学技术领域的工艺试验仪器,于2016年6月15日启用。
技术指标
熔炼容量:10-300KG 电源功率:50-400KW 升温速率:40℃/Min 炉温均匀性:±5℃ 极限真空度:6.67×10-2Pa 压升率: 0.01PaL/S 额定充气压力:0.05Mpa 铸锭方式:下降定向凝固 伺服控制范围:0.01mm-6mm/Min 定向凝固速率:0.03mm-0.5mm/Min 坩埚上升速度:80-100 mm/Min。
主要功能
硅锭制备。
参考资料
多晶硅铸锭炉.国家科技基础条件平台中心.
最新修订时间:2021-01-05 10:34
目录
概述
技术指标
主要功能
参考资料