外延衬底
用于生长外延层的洁净单晶薄片
外延衬底是2011年公布的材料科学技术名词。
定义
具有特定晶面和适当电学、光学和机械特性的用于生长外延层的洁净单晶薄片。
出处
《材料科学技术名词》。
参考资料
外延衬底.术语在线.
最新修订时间：2023-01-15 22:20
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定义
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