外延炉
一种用于物理学领域的计量仪器
外延炉是一种用于物理学领域的计量仪器，于1999年12月01日启用。
技术指标
0-1000℃温度可调，5分钟快速降温，大直径外延150-300mm。
主要功能
外延生长，合金，退火。
参考资料
外延炉.国家科技基础条件平台中心.
最新修订时间：2022-06-24 17:47
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概述
技术指标
主要功能
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