垂直度测量仪是运用气浮原理实现精密导向的精密仪器。

其主要用于如下几个方面的测量：

1）检测尺寸500mm内的00级、0级、1级、2级的各种类型直角尺的垂直度，以及被测面的直线度；

2）检测尺寸至500×500mm方箱的各个工作面相互垂直度和平行度；

3）检测0-500mm范围内高精度的机械零件的垂直度。

这种仪器具有测量精度高、性能稳定、操作及维护方便的优点，但是由于技术难度较大，国内几乎没有生产，只有几家公司在做，主要是发达国家在生产。由于国外产品售价高，在我们国内没有得到普及推广。国内在检测垂直度方面主要还是使用传统的检测方法，比如光隙法、手动打表法等，这些方法操作过程比较繁琐，检测效率也比较低。

仪器包括导向装置、测量装置、驱动装置、气源控制装置、辅助夹具、电脑等。

仪器主要是运用气浮与真空吸附原理进行测量的，在测量的过程中都必须有气体作润滑，所以开机后系统会对气路气压进行检测。当气压处在设置的范围内时电机才能开始工作，否则系统蜂鸣器就会报警，电机无法启动。滑台上下移动过程中，真空吸附滑台的正负压气路均要打开。使用前滑台的初始位置位于最低位置处（此时测头距离大理石平板表面约10mm）。以下是具体使用方法。