台式扫描电子显微镜（Desktop Scanning Electron Microscope）是一种体积小巧，可安放在实验台面上操作的电子显微镜。其原理和传统（落地式）扫描电子显微镜相同。部件包括：电子发射、电磁透镜、信号探测、真空系统、计算机控制系统。

扫描电镜成像是利用细聚焦高能电子束在样件表面激发各种物理信号，如二次电子、背散射电子等，通过相应的检测器来检测这些信号，信号的强度与样品表面形貌有一定的对应关系，因此，可将其转换为视频信号来调制显像管的亮度得到样品表面形貌的图像。台式扫描电子显微镜与传统大型（落地式）扫描电子显微镜相比，台式扫描电镜具有体积小巧、操作简便、价格便宜、快速抽真空等优势，台式扫描电子显微镜分辨力能满足多数材料的显微（微米，甚至纳米级别）观察。台式扫描电子显微镜填补了光学显微镜与传统大型扫描电子显微镜之间的分辨率空白区域，可广泛应用于材料科学、纳米颗粒、生物医学、食品药品、纺织纤维、地质科学等诸多领域。

随着科学研究与工业生产进入了纳米领域，人们对显微技术、显微仪器的要求越来越高，需求也日益增长。

光学显微镜价格便宜，操作简单，但由于可见光波长的限制，其放大倍数只能达到1000倍左右；传统大型扫描电子显微镜有效放大倍数可以达到数万倍，具有大景深，是当前材料科学、生物科学领域最常用的表征手段之一，但其投资巨大，而且需要经过严格培训的操作人员，使用不便。

台式扫描电子显微镜结合光学显微镜与传统扫描电镜的优点。既保留的扫描电镜较高的放大倍数和大景深，同时体积小、操作简便，价格仅为传统电镜的几分之一，逼近高端光学显微镜。台式扫描电子显微镜操作方便、维护简单等特点被认可。

真空系统：二级真空系统，一般采用机械泵加涡轮分子泵组成，电子枪部位真空度10e-4Pa，样品仓真空度可达60Pa。

电子枪：通过添加高电压，发射出大量电子的部件。种类有：钨阴极电子枪、氧化物阴极、硼化物阴极（六硼化镧，六硼化铈晶体）、场发射阴极（单晶钨）等。

电磁透镜：电场和磁场都可以使电子束发生偏转或者聚散。

探测器：背散射电子探测器或二次电子探测器，能谱探测器（可选）

放大倍数高（相对于光学显微镜）

成像速度快

大景深

体积小巧（相对于落地式扫描电子显微镜）

操作简便

价格便宜

台式扫描电镜用于各种样品微细结构和特征的形貌观察，适用于生物样品、医学样品、环境样品、金属材料、合金材料、陶瓷材料、吸附剂等的形貌观察和微区分析。

观测沉积物矿物表面微观面貌，还要对其表面元素成分进行定性半定量分析。

扫描电镜样品种类繁多，特性各异。为了满足电镜的常规观察，样品制备应该符合以下原则：

A. 显露出所欲分析的位置。

B. 表面导电性良好，需能排除电荷。

C. 不得有松动的粉末或碎屑（以避免抽真空时粉末飞扬污染镜柱体）。

D. 需耐热，不得有熔融蒸发的现象。

E. 不能含液状或胶状物质，以免挥发。

F. 非导体表面需镀金（影像观察）或镀碳（成份分析）。