单散射是指假设出射的光电子波只被近邻原子散射一次。

多重散射指光电子波在返回到吸收原子前被两个或者多个近邻原子多次散射。尤其对于直线排列的路径（即3个原子呈直线或近似直线排列），其多重散射的贡献甚至比高壳层单散射的贡献还大，最早对多重散射EXAFS做出理论论述的是Lee和Pendry,他们把多重散射的贡献按其有效路径长度进行分类，这对分析原子间距及其他结构参数非常有利。