北京北方华创微电子装备有限公司于2001年10月25日成立。法定代表人赵晋荣,公司经营范围包括：生产太阳能电池片、LED衬底片、刻蚀机；技术开发、技术服务、技术转让、技术咨询；销售电子产品、机械设备（小汽车除外）、五金交电；自有厂房出租；货物进出口、技术进出口等。

北京北方华创微电子装备有限公司于2001年10月25日成立。

2020年12月，北京北方华创微电子装备有限公司PECVD产品研发团队获得北京市模范集体称号。

2022年1月28日，国家发展改革委等部门关于印发2021年（第28批）新认定及全部国家企业技术中心名单的通知显示：该企业技术中心具有国家企业技术中心资格。

2024年1月19日，北京北方华创微电子装备有限公司的12英寸减压外延团队被授予“国家卓越工程师团队”称号。